Ceramiczna płyta z przyssawką Oxalumina to rewolucyjny produkt w dziedzinie precyzyjnych systemów manipulacyjnych. Wykonany jest z ceramiki α-tlenku glinu (α-Al₂O₃) o czystości ≥99,9%, w połączeniu z inżynieryjną porowatą strukturą w celu uzyskania optymalnego rozkładu próżni. W porównaniu z tradycyjnymi przyssawkami metalowymi lub polimerowymi, to rozwiązanie ceramiczne całkowicie eliminuje ryzyko zanieczyszczenia cząsteczkami, a jednocześnie jest w stanie wytrzymać ekstremalne temperatury (praca ciągła 1750°C) i środowiska korozyjne. Jej unikalna mikrostruktura (równomierna wielkość porów 2-5 μm, gęstość 3,89 g/cm3) zapewnia submikronową płaskość (chropowatość powierzchni Ra≤0,1 μm), co czyni ją jedyną profesjonalną platformą z przyssawkami, która może obsługiwać płytki półprzewodnikowe o średnicy 300 mm z dokładnością ssania ± 0,1 μm.
1. Przełom w wydajności materiałów
Stabilność termiczna: brak odkształceń w cyklach szoku termicznego w temperaturze 800°C i żywotność 5 razy dłuższa niż w przypadku przyssawek stopowych (środowisko procesowe o wysokiej temperaturze).
Odporność chemiczna: 1-roczna utrata masy w wyniku zanurzenia w 30% kwasie siarkowym jest mniejsza niż 0,01 g, odpowiednia do pracy z elektrolitem akumulatorowym i procesem chemicznego osadzania z fazy gazowej.
Wydajność izolacji: Natężenie pola przebicia osiąga 40 kV/mm, zapewniając bezpieczną pracę w komorze trawienia plazmowego.
2. Innowacja w projektowaniu inżynierskim
Kontrola porowatości: 40% porowatości osiąga się w procesie formowania wtryskowego żelu, a struktura ścianek porów o grubości 1-3 μm zapobiega adsorpcji i deformacji ultracienkich części (≤50 μm).
Inteligentna architektura: Wbudowany czujnik temperatury obsługuje zarządzanie temperaturą w czasie rzeczywistym od -196 ℃ do środowiska o bardzo wysokiej temperaturze.
